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激光头在通电之后通过分光镜把一束光分成了两束相干光,偏振面垂直入射面一束光通过分光镜反射,射向固定反光镜形成 f1,为参考光线。偏振面在入射面内的另一束光透过分光镜射向移动反光镜形成f2,为测量光线。
两束相干光f1 f2经过分别经过固定反射镜1和移动反射镜2的反射后在分光镜上进行合并、混频。后射向激光头,被激光头上的激光探测器接收分析。在反光镜2的移动过程中,参考光源和检测光源的光程差发生改变,两束光形成的干涉信号变化被探测器所接收,探测器通过这些信号的变化即可得到移动反射镜运动的距离,从而得到被测物体的长度。

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直线轴x的误差测量与补偿
激光干涉仪直线轴测量原理:激光干涉仪是一种测量长度的仪器,镇江胀轴,光具有波粒二象性,利用激光的波长为标准,两束相干光在传播过程中就会形成干涉,并在激光器上得到明暗相间的条纹。激光的波长较为稳定,每个条纹之间的距离及为激光的一个波长,激光头利用这些条纹,通过式(3)即可得到被测物体的移动距离。
式中:n—累计脉冲数;
λ—激光波长;
c—---;
v—移动反光镜的移动速度。
在实际机床误差测量工作中使用的是雷尼绍公司的双频激光干涉仪,胀轴厂家,其除了利用光的干涉原理还使用多普勒效应产生的频率变化对机床的各轴进行位置检测。针对数控磨齿机直线轴的螺距误差,其工作原理

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直线轴误差补偿: 对得到的x轴测量结果进行分析,根据雷尼绍激光干涉仪发出激光的波长和探测器接收到的脉冲数对测量结果进行数据分析,通过的误差补偿计算公式,即可获得该机床x轴各补偿点的误差补偿值,具体公式如下: 式中:pij —移动反光镜的实际位置;
pi —设定该轴应该移动到的理论距离;
xij —两者之差即为其误差补偿值。
误差补偿分析图表,如表1所示。根据其测量结果,胀轴生产厂家,通过西门子840d数控系统,胀轴定制,将表1中通过数据分析得到的误差补偿值输入到机床误差补偿表中。
表1 x轴误差补偿图表 以同样的方法再次测量x轴各补偿点的定位精度,如图5所示。由图5可以看出,经过补偿之后的x轴在工作行程-280mm至-30mm的定位精度和重复定位精度明显提高。

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